高分辨XRD（HRXRD）_高分辨X射线衍射

X射线衍射（XRD）是一种无损的材料结构研究手段。其中，高分辨X射线衍射（HRXRD）特别适用于单晶或外延膜等具有高度取向性的材料结构分析。

高分辨X射线衍射仪是半导体材料表征的标准装备，广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体材料与器件的研究开发以及生产过程中的质量控制。该仪器适用于各类薄膜样品的测试，尤其在单晶晶圆和外延薄膜的结构分析与表征方面具有显著优势。

具体测试项目包括（但不限于）：

1. 摇摆曲线分析（Rocking Curve,omega-2theta）

2. 倒易空间映射（Reciprocal Space Mapping, RSM）

3. 外延关系判定（Phi-scan）

4. X射线反射率测量（XRR）

5. 掠入射X射线衍射（GIXRD）表面深度分析

6. 透射X射线衍射

7. 残余应力分析（Residual Stress）

8. 织构分析（Texture Analysis）

9. 粉末及块材的物相鉴定（Phase Analysis）

10. 小角X射线衍射（Small Angle XRD）

可接收的样品种类包括（但不限于）：半导体晶圆、单晶、薄膜、药品、金属、纳米材料、有机材料、矿石等。