薄膜应力测试仪（激光曲率法）

薄膜应力测试仪（Film Stress Tester, FST）

型号：FST-5000

测量原理：

本设备采用激光曲率法，其核心测量原理基于经典的基片弯曲法 Stoney 公式。通过集成先进的激光扫描方式与探测技术，结合智能化操作流程，实现对晶圆类光电薄膜样品弓高、轮廓形貌、曲率半径及薄膜应力的精准测量。

主要功能：

FST-5000 主要用于对晶圆基底及薄膜材料进行非破坏性检测，可量化分析样品的轮廓形貌、弓高（Bow）、翘曲度（Warp）、曲率半径以及薄膜应力的大小及其分布情况。通过对应力分布的量化评估，可为工艺优化提供数据支持，有效避免因应力过大而导致的晶圆翘曲或薄膜脱落等失效问题。

适用材料：

该设备适用于多种材料的检测，包括但不限于二氧化硅（SiO₂）、氮化硅（Si₃N₄）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）、金属以及低介电常数（Low-k）材料等。

应用范围：

适用于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力的专业测量与分析。