白光三维光学显微镜_3D光学轮廓仪

本测试项目利用白光三维光学显微镜（3D光学轮廓仪）对样品表面进行高精度表征，可测量参数包括表面的粗糙度与三维形貌，分析材料表面的起伏程度及平整度，并定量测量凹坑的深度与面积。此外，通过影像三坐标测量功能，可对样品的空间位置进行分析，包括平行度、垂直度以及对角线距离等几何参数。

1. 白光三维光学显微镜、3D光学轮廓仪与接触式轮廓仪是否为同一类仪器？

答：这三者并不相同。白光三维光学显微镜与3D光学轮廓仪在原理上属于同一类仪器，均采用无接触式光学照射测量技术。而接触式轮廓仪（通常被称为台阶仪）则采用物理探针接触式测量原理。尽管测量方式不同，但两者均用于材料表面的形貌测试。

2. 在进行样品表面粗糙度测试时，可以提供哪些量化参数？

答：表面粗糙度测试可提供以下关键参数：

- Ra（轮廓算术平均偏差）

- Rq（均方根粗糙度）

- Rz（微观不平度十点高度）

- Rp（最大轮廓波峰高度）

- Rv（最大谷值）