电子探针显微分析_EPMA测试（云视频）

电子探针显微分析（Electron Probe Micro-Analyzer, EPMA），亦称为微区X射线光谱分析仪或X射线显微分析仪。其主要技术特点与应用优势如下：

1. 微区结构分析：EPMA可在微米量级范围内进行微区分析，能够将化学成分与显微结构实现精准对应，是研究材料微观结构的有效手段。

2. 元素分析范围广泛：可检测从硼（B）到铀（U）范围内（原子序数 5~92）的元素。

3. 定量分析精度高：其检测极限（最低可检测浓度）通常在 0.01～0.05 wt% 之间，能够有效开展轻元素、痕量元素以及在存在能谱重叠峰情况下的定量分析。

4. 分析效率高且无损：采用新型电子探针设备，单次样品分析可在 0.5 h 左右完成，且分析过程对样品无损，分析后样品可完好保存。

5. 应用领域广泛：该技术被广泛应用于冶金、地质、生物及考古等多个科研与工业领域。