电子通道衬度扫描成像(ECCI)
简介
电子通道衬度成像(Electron Channeling Contrast Imaging, ECCI)是一种用于材料微观结构分析的表征技术。该技术可实现的测试与表征项目包括:
1. 原位试验(目前暂不提供测试服务):具备原位表征能力,可开展单轴、多轴及循环变形等试验,用于分析同一观测区域在不同变形阶段的位错演变行为。
2. 位错统计分析:凭借较大的表征面积,ECCI能够对指定范围内的位错分布进行定量或半定量分析。
3. 特定位置位错分析:ECCI无需对样品进行减薄处理,可直接对裂纹尖端、特定取向晶粒以及应力集中区域等特殊位置的位错进行表征。
4. 环境试验分析:可用于表征在腐蚀环境下发生变形或失效样品的位错结构。
常见问题
电子通道衬度成像(ECCI)技术的优势如下:
(1)样品制备便捷且具有非破坏性:相较于透射电子显微镜(TEM)复杂的样品制备流程,ECCI表征的制样过程较为简单,仅需将块体样品的表面抛光至镜面即可。针对特定取向晶粒、应力集中区域以及失效开裂区的缺陷分析,ECCI技术无需利用聚焦离子束(FIB)进行定点薄片制备,通过常规制样即可实现观察。由于制备过程不破坏样品整体结构,表征后的样品可继续用于后续实验。
(2)具备高通量分析能力:依托扫描电子显微镜(SEM)的大视野成像与高像素采集特性,ECCI技术能够实现大面积、高通量的晶体缺陷数据采集,为开展晶体缺陷的统计分析提供了可能。
(3)分析灵敏度高、分辨率强且效率提升:ECCI技术利用SEM的高分辨率成像能力,在保证高数据采集效率的同时,可获得高分辨率图像。该技术对材料的形变具有极高的灵敏度,即使是材料内部微小的形变,亦可在ECCI图像中清晰呈现。