微区X射线荧光光谱（Micro-XRF）分析

原理：聚焦的初级X射线束（光斑直径可达数十微米至数百微米）照射样品表面，激发样品中元素的原子内层电子，形成空穴；外层电子跃迁填补空穴时释放特征荧光X射线，其能量与元素种类一一对应。探测器记录各元素的荧光信号并转换为光谱，通过谱峰位置定性、峰强度定量，获得样品微区的元素种类及含量信息。通过移动样品台进行点、线、面扫描，可构建元素分布图像。

分析对象：固体样品中Na–U范围内的主量、微量及痕量元素（轻元素受限于检测窗口，通常Na以后效果较好），适用于金属、合金、玻璃、陶瓷、矿物、岩石、土壤、沉积物、涂层、薄膜、电子器件及生物组织等。

应用领域：地质与矿产（矿物微区成分鉴定、元素赋存状态与共生关系）；材料科学（合金偏析、焊接界面扩散、镀层成分分布）；文物考古（古陶瓷釉彩成分溯源、金属文物腐蚀产物分析）；电子工业（焊点成分检测、失效分析）；环境科学（单颗粒物元素指纹、土壤微区重金属空间分布）；法医学（玻璃碎片、枪击残留物比对）。