离子束刻蚀机（IBE）_材料表面刻蚀加工

采用离子束刻蚀（Ion Beam Etching, IBE）技术，通过高能离子束直接轰击材料表面实现物理刻蚀加工；同时，可利用该工艺将经曝光形成的光刻胶图形精确转移至金属、介质或半导体晶圆等基底材料上。