椭偏仪

椭圆偏振光测量仪（Ellipsometer）是一种高精度的光学表征设备，主要用于测定薄膜的厚度、光学常数以及分析材料的微观结构。该仪器具有测量精度高、适用于超薄膜层、非接触式测量、无损检测且无需真空环境等显著优势，是薄膜材料分析中极具应用价值的表征手段。

测试能力：

1. 入射角范围：55° - 90°

2. 波长范围：190 nm - 2100 nm

3. 温度范围：室温 - 600°C

1. 椭偏仪的光谱范围如何选择？

椭偏仪的可选光谱范围覆盖从深紫外（142 nm）到红外（33 μm）的宽光谱区间。具体光谱范围的选择取决于被测材料的物理化学属性、薄膜厚度以及研究关注的光谱波段等因素。例如，掺杂浓度会显著影响材料的红外光学属性，因此此类分析需要选用具备红外测量能力的椭偏仪；在进行薄膜厚度测量时，入射光必须能够穿透薄膜并到达基底，因此需选择材料处于透明或半透明状态的光谱波段；此外，对于较厚的薄膜样品，选用较长波长的光线通常更有利于测量。

2. 椭偏仪测试适用于哪些材料？

该测试主要适用于无机材料，且要求样品具备一定的透光性。

3. 椭偏仪测试可以获取哪些参数？

可通过测试获得薄膜厚度、折射率随波长的变化曲线以及消光系数随波长的变化曲线）等光学参数。