自由曲面光学面形测试仪_轮廓测量

本测试服务采用自由曲面光学面形测试仪，特别适用于非对称回转结构等复杂自由曲面的面形测量。通过对元件表面的检测，可获取面形误差分布图，并输出PV（Peak-to-Valley）、RMS（Root Mean Square）及曲率半径误差等关键量化参数。该测试系统的测量精度可达15 nm。